反滲透水凈化設(shè)備（膜分離技術(shù)）技術(shù)性的運用使反滲透超純水設(shè)備從傳統(tǒng)式的陽離子交換器、滲碳、陰離子交換器、復(fù)合型離子交換器獲得了一次發(fā)展。

近些年逐漸國外應(yīng)用推廣的EDI（電去離子）技術(shù)性，則是超純水系統(tǒng)生產(chǎn)技術(shù)的一次改革，此后進(jìn)入了一個不用再造化工品，而能生產(chǎn)制造出達(dá)到18MΩ·CM的超純水系統(tǒng)，用以半導(dǎo)體材料、集成電路芯片等領(lǐng)域。反滲透超純水設(shè)備是選用專用型RO技術(shù)性設(shè)計方案，核心部件、機(jī)器設(shè)備選用進(jìn)口知名商標(biāo)，加工工藝優(yōu)秀，品質(zhì)靠譜，擴(kuò)展性強(qiáng)，構(gòu)造合理占地面積小，水使用率高，耗能低，全自動化技術(shù)運作，實際操作維護(hù)保養(yǎng)簡易。一般產(chǎn)水量低限0.25m3/hr，限制不限，水利用率一般可以達(dá)到75%之上，除鹽率＞98%。產(chǎn)水率隨滲水溫度降低和反滲透膜脆化或受環(huán)境污染有一定轉(zhuǎn)變。

反滲透超純水設(shè)備典型性生產(chǎn)流程為：

1:預(yù)備處理－反滲透－提純水箱－離子交換器－紫外線殺菌燈-純水泵－用水點

2:預(yù)備處理－一級反滲透－二級反滲透（正電反滲膜）－提純水箱－純水泵-紫外線殺菌燈－用水點

3:預(yù)備處理－反滲透－正中間水箱－正中間水泵－EDI設(shè)備－提純水箱－純水泵-紫外線殺菌燈－用水點

4:預(yù)備處理→紫外線消毒設(shè)備→一級RO設(shè)備→二級RO設(shè)備→正中間水箱→EDI設(shè)備→脫氨設(shè)備→氮封純水箱→除TOCUV設(shè)備→打磨拋光陽離子樹脂→超濾裝置→用水點

水體合乎美國ASTM規(guī)范，電子部超純水系統(tǒng)水質(zhì)檢測標(biāo)準(zhǔn)（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級）